CN/EN

SMT设备PRODUCT

佳能新发售KrF半导体光刻机“FPA-6300ES6a”Gr

2022-06-29 05:30:32 来源:雷竞技急速体现 作者:雷竞技能不能玩 浏览量:5

  佳能将于2022年8月初发售KrF※1半导体光刻机“FPA-6300ES6a”的“Grade10”产能升级配件包(以下简称“Grade10”升级包)。KrF半导体光刻机“FPA-6300ES6a” 自发售至今,已经在生产存储器和逻辑电路的大型半导体器件制造厂商中收获良好口碑,此次发布的“Grade10”升级包将助力该设备在300mm晶圆规格基础上,以每小时高达300片※2晶圆的加工能力实现半导体光刻行业内的更高水平。

  随着市场对半导体器件需求的持续增长,半导体器件制造厂商也在不断寻求具备更高生产能力的半导体光刻设备。自2012年4月推出KrF半导体光刻机“FPA-6300ES6a”以来,佳能在提升设备生产能力的过程中不断实现产品的升级与迭代,并在市场中赢得了客户群体的广泛认可和高度信赖。

  新发布的“Grade10”升级包能够在300mm晶圆规格基础上,实现每小时300片晶圆的高效率生产。此外,这一升级包将于2023年在KrF半导体光刻机“FPA-6300ES6a”的200mm兼容设备上得到应用。

  “Grade10”升级包通过加快工作台和传送系统的驱动,缩短了曝光时间和传输时间,以每小时300片晶圆的产能,实现半导体光刻行业的更高水准生产。同时,这是佳能在半导体光刻设备上首次搭载基于人工神经网络※4的工作台控制系统,减少高速驱动产生的振动,以保持高精度光刻水准。此外,通过选取套刻精度(Overlay)配件,在提升产能的同时,更可实现高达4nm※5的套刻精度。

  对于已经在半导体器件制造厂商中投入使用的KrF半导体光刻机“FPA-6300ES6a”※6,无需更换设备即可通过使用“Grade10”升级包进一步提高生产效率。

  未来,佳能将继续带来多样化的解决方案,并提供能够有效提升生产效率的配件升级,更好地满足半导体光刻设备市场的需求。

  *1 使用波长248nm,由氪(Kr)气体和氟(F)气体产生的激光的半导体光刻机。1纳米(纳米)是10亿分之一米。*2在300mm晶圆规格基础上和96次曝光条件下,每小时的晶圆曝光处理数量。

  *3在支持300mm晶圆规格的KrF半导体曝光设备中;统计时间截至2022年6月12日(佳能调查显示)。

  **为方便读者理解,本文中佳能可指代:佳能光学设备(上海)有限公司,佳能(中国)有限公司,佳能股份有限公司,佳能品牌等

  “重复步进并多次扫描曝光”的装置称为“步进扫描光刻机”,该装置通过控制掩模台与工作台的同步运动的方式实现曝光动作。由于步进式扫描光刻机的扫描仪可以在扫描操作中覆盖曝光视角,因此其主要优点是易于通过调整镜头的有效区域来扩大数值孔径(NA, Numerical aperture),并在镜头像差较小的部分进行曝光,从而更好地抑制曝光失真,带来高精度曝光。

  佳能目前拥有i线光刻机和KrF光刻机产品线,同时也在不断丰富其多元化半导体光刻设备阵容,以更好地满足市场对于更大面积像场、更小尺寸掩膜版,和更丰富的物联网功能的需求。

  在下方网站中,我们通过插图和视频等富有趣味的方式,对半导体光刻设备的工作原理与性能进行了介绍。此外,我们还为青少年开设了专门的页面,以轻松、愉悦的方式介绍光刻技术:

  佳能光学设备(上海)有限公司是佳能在中国大陆地区成立的提供半导体及液晶面板生产设备营业辅助业务和技术支持业务的公司。所经营的产品除了佳能股份有限公司制造的半导体及液晶面板生产用曝光装置以外,还包括佳能机械公司,佳能安内华公司以及佳能特机公司承接的全部半导体及液晶面板生产设备。

  佳能在中国大陆地区从事半导体及液晶面板生产设备业务的历史可以追溯到20世纪80年代,当时开始向中国出口半导体曝光装置(接近式曝光装置、镜面投影式曝光装置)。20世纪90年代又为上海地区的半导体客户企业提供了i线Stepper、等离子除胶设备、常压成膜设备等各类佳能集团制造的半导体设备。进入21世纪,随着中国半导体前道工艺的迅速发展,佳能进一步将KrF Scanner等高端的半导体光刻装置引进到国内。当时,佳能与三井物产集团建立了合作伙伴关系,进一步扩大了在中国的产品销售范围,在中国的液晶面板生产设备市场也得到了顺利的拓展,其中佳能的液晶面板曝光装置从中国液晶产业初期开始始终保持着极高的市场占有率。

  如今,在半导体、液晶面板以及有机EL板等高科技制造业领域,佳能正在加快向亚洲生产基地、尤其是向中国市场的投资转移。今后佳能光学设备(上海)有限公司将作为佳能集团与顾客之间的桥梁,进一步加强对客户企业的支持力度,力争以此实现提高顾客满意度、扩大事业规模的目标。

  佳能自1937年开始创业。秉承“共生”的企业理念,佳能以创造世界一流产品为奋斗目标,不断向多元化和全球化发展。目前,佳能的事业以光学技术为核心,涵盖了办公产品、影像系统产品、医疗系统产品以及产业设备及其他产品等广泛领域。位于东京的集团总部与美洲、欧洲、亚洲、大洋洲以及日本的各区域总部紧密联系,构筑了全球化与本土化有机结合的经营体制。1996年,佳能启动了旨在实现以技术服务社会,成为全球范围内被信赖、受尊敬的企业为目标的“全球优良企业集团构想”。(数据截止至2022年3月)

  佳能的中国事业始于上个世纪70年代。从最初的技术合作到独资建厂再到成立销售公司,经历了多种经营模式的探索。1997年3月,佳能(中国)有限公司成立,全面负责佳能在中国市场销售的各项工作。经过多年努力,已基本建成包括华北、华东、华南三大区域总部在内的13个分支机构以及展厅、快修中心、快捷服务站等,形成了覆盖全国的销售和服务网络。目前业务范围涉及影像系统产品、办公产品、产业设备以及智能IT解决方案等多个领域,并在不断拓展符合中国消费者需求的新业务。佳能(中国)深深植根于中国市场,致力于成为一家被中国人民所信赖、尊敬的企业。(数据截止至2022年3月)

  免责声明:凡注明来源本网的所有作品,均为本网合法拥有版权或有权使用的作品,欢迎转载,注明出处。非本网作品均来自互联网,转载目的在于传递更多信息,并不代表本网赞同其观点和对其真实性负责。

  【慧聪广电网】近日,星光文化娱乐集团有限公司(以下简称“星光文化”)与中数文科技有限公司签署了战略合作协议,双方将以温子仁执导的《致命感应》为中心,开发《致命感应》周边、线下主题公园、剧本杀等系列数藏产品,

  【慧聪广电网】有人说,居住的品质在生活中尤为重要,它是众人心底,孜孜不倦、梦寐以求的向往。在当下浮躁的时代,品质与匠心,往往就代表了一个品牌最大的诚意。对于近几年的杭州市场,交付的品质,已然成为房企实

  【慧聪广电网】近期,一条关于智能工厂的宣传片在移动智能终端行业内强势刷屏,短短时间内观看量破十万,传播十分迅速,足见其影响力之大。看完片子后,不少人都有这个疑问:连手机壳都有智能工厂了?

  ATEN推出5K DisplayPort KVM over IP信号延长器—尽享视听体验

  【慧聪广电网】6月17日,全球IT基础设施智慧连接解决方案的领导厂商ATEN宏正发布了全新5K DisplayPort KVM over IP信号延长器。

  “在线陪练”是一种依托互联网技术呈现的新兴教育形式,尤其在艺术教育方面应用得最为火热。通常,陪练老师通过网络指导学生乐器学习并及时纠错,与线下真人陪练相比,更节省人力和时间成本。作为该赛道头部企业的VI

  大型融媒体报道《直播大湾区》今天播出广东佛山篇:珠江三角洲腹地 打造国际科创中心

  各级主流媒体进入深度融合发展攻坚期——传统广电要从“合而为一”到“融为一体”

上一篇:“模”力超群再创新高!比亚迪半导体推出1200V 1040A 下一篇:9月1日发光二极管概念报跌云南锗业跌近7%